SF6氣體是一種惰性化學氣體，雖然本身無毒，但大量吸入卻使人因缺氧而窒息。由于$F6比空氣重5倍，當SF6斷路器嚴重泄漏時，大量SF6氣體將充人配電室、電纜溝或地面，并從低到高逐漸堆集，將低凹空間內的空氣"擠走"。此時如果有人進入配電室和電纜溝內工作，將吸人大量的SF6氣體，停留時間過長就會因缺氧而死亡。
    因此，在有SF6氣體大量外漏的場所，應開窗通風或用排風設備將$F6氣體排出。只有當SF6氣體在室內稀薄到一定程度后，才允許人員進入。在有人長期工作的環境中，SF6氣體的允許濃度，美國衛生標準建議可為萬分之一百。