（1）低溫等離子體技術適用于低濃度VOCs廢氣（一般宜低于300mg/m3）治理，且廢氣濃度應遠低于爆炸下限，確保不存在爆炸危險。

（2）對于含油霧或漆霧等顆粒物的廢氣，應配置高效過濾等適宜的預處理工藝，確保低溫等離子體處理設備的安全性。

（3）啟動低溫等離子體單元之前，需先啟動風機吹掃處理系統，以防止放電火花引燃積聚的高濃度有機物。

（4）對電極和器壁上的沉積物應及時進行清理維護。

（5）從低溫等離子產品生產和使用全過程強化產品設計、制造、運行維護各個環節的監測、預報警、應急處置等安全措施。